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      光學鍍膜機首頁 > 設備類 > 光學鍍膜機

       

      光學鍍膜機

      設備簡介:

      本裝置是用于從深紫外 (DUV) 到可見光譜 (VIS) 再到紅外 (IR) 光譜范圍應用的理想選擇。鍍膜的種類涵蓋用于激光以及其他的邊緣濾光片(短通和長通)、UV-IR 截止濾光片、陷波濾光片和窄帶通濾光片、二色性彩色濾光片和偏振分光器、AR 和 HR

      設備靈活性高 :
      不同的腔室尺寸,內徑在 710 mm 到 2810 mm 之間。這意味著我們可提供相應的腔室以完美地匹配我們客戶定義的裝載容量和基底尺寸。
      系統可針對 DUV 應用進行優化 :
      針對 193 nm 波長光刻應用優化的系統解決方案。這些解決方案包括經過特殊處理的腔室表面、精選的材料和個性化的部件配置以確保極低的鍍膜損耗。這些措施在生成 DUV 應用中所需的具有高反射率的無偏移穩定鏡面鍍膜的氧化物鍍膜應用中也至關重要。
      用于 IR 應用的系統的可用性:
      為滿足 IR 應用的特殊要求,設備的設計可進行完美地調適并使其部件進行匹配從而應對大量的 IR 鍍膜材料??稍谡麄€表面和曲面上以極佳的層性能對需要良好均勻性的平坦和曲率極高的基底進行鍍膜。
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